MKS

MKS蝶閥調整步驟

Gain調震盪
Lead調整P值


壓力讀值高於設定值要將L調小


R1 讀取數位設定壓力
R2 讀取Gain值
R3 讀取Lead值
R4 讀取類比設定電壓
R5 讀取目前壓力
R6 讀取目前位置

Gxxx.x 設定Gain值百分比(原本G006.0)G008.5
Lxxx.x 設定Lead值百分比(原本L010.0)


最佳的參數壓力可達到設定值壓力+0.1Torr
G000.3更好+0.0Torr
L060.0



設定穩壓60.0Torr  MFC(H2)=2000sccm 時間大約花費7分鐘(一開始會衝到62.5Torr再往下掉) 可達60.1Torr
設定穩壓03.0Torr  MFC(H2)=500sccm 時間大約花費4分鐘(1.5分會衝到4.5Torr再往下掉)  可達3.2Torr
設定穩壓10.0Torr  MFC(H2)=500sccm 時間大約花費分鐘(一開始會衝到Torr再往下掉)
設定穩壓20.0Torr  MFC(H2)=1000sccm 時間大約花費分鐘(一開始會衝到Torr再往下掉)
設定穩壓30.0Torr  MFC(H2)=1000sccm 時間大約花費分鐘(一開始會衝到Torr再往下掉)


A->a W1.07

T->a W1.07

a->A W1.10